钨旋转溅射靶
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钨旋转溅射靶
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钨旋转溅射靶

参数

外径(mm)

内径(mm)

长度(mm)

定制

140至300

120-280

100-3300




型号
定制
形状
定制
化学成分

99.95%W

1.高密度
2.高耐磨
3.导热系数高,热膨胀系数低
4.高振动阻尼能力和高杨氏模量
5.高抗氧化性和耐腐蚀性

原子序数 74
CAS编号 7440-33-7
原子质量 183.84[克/摩尔]
熔点 3420摄氏度
沸点 5555摄氏度
20°C时的密度 19.25[g/cm³]
晶体结构 体心立方
20°C下的线性热膨胀系数 4.4 × 10-6 [m/(mK)]
20°C时的热导率 164[W/(mK)]
20°C时的比热 0.13[J/(gK)]
20°C时的电导率 18.2 × 106 [S/m]
20°C时的比电阻 0.055[(Ωmm2)/m]

质量与检验

应用

半导体

化学气相沉积

物理气相沉积(PVD)显示器

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